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研究概要

 基礎研究を大切にして、ものづくりを通してきっちりとした基礎づくりを目指します。電子材料を通した,社会貢献を目指しています。

 具体的には半導体シリコンカーバイドの超平坦加工技術の開発とそのメカニズムの解明、そして得られた「電子的に利用可能」な基板を用いた有機物検出を目指したセンサ構造構築の研究を行っています。更にシリコンカーバイド固有の能力を活かした新しい研究や金属材料の電子物性を生かした環境エレクトロニクスと低周波エレクトロニクスの応用、電気二重層コンデンサの開発に着手しています。

2014年6月より飛行時間型二次イオン質量分析計
(TOF−SIMS)の用いての測定を開始しました。

Arクラスタビームを用いることにより有機物の深さ方向分析が可能となります。たとえば、Liイオン電池の表面近傍のLiやほかの不純物の吸着状態を観測するなどに利用できます。


 電子材料は今後限りなく発展を続けますが、その評価手法の開発も大切です。新しい概念で新しい技術作りを行っていきます。新規電子材料へもチャレンジを続けます。世界は回っています。 我らが宇宙です!