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2012年度 研究実績

◆第60回応用物理学会春季学術講演会
   (2013.3.27-30 神奈川工科大学)

・川口 優作、永利 一幸、江龍 修
(名古屋工業大学大学院産業戦略工学専攻、株式会社フジミインコーポレーテッド)
「SiC表面に作成したナノ微細構造の解析」
・山田 厚輔、江龍 修
(名古屋工業大学)
「二種類の波長を用いたSiC表面凹凸の定量的非接触評価」

◆第21回 SiC及び関連ワイドギャップ半導体研究会
  (2012.11.19-20 大阪市中央公会堂)

・山田 厚輔、江龍 修
(名古屋工業大学)
「二種類の波長を用いたSiC加工表面非接触評価の研究」
・川口 優作、永利 一幸、江龍 修
(名古屋工業大学大学院産業戦略工学専攻、株式会社フジミインコーポレーテッド)
「SiC表面に作製したナノ微細構造の熱的挙動観察」

◆第73回 応用物理学術講演会
  (2012.3.15-18 愛媛大学・松本大学)

・川口 優作、永利 一幸、江龍 修
(名古屋工業大学大学院産業戦略工学専攻、株式会社フジミインコーポレーテッド)
「4H-SiC表面におけるペプチド自己組織化膜を用いたナノ微細加工」

◆2012 International Conference on Solid State Devices and Materials
  (2012.9.25-27 Kyoto International Conference Center, Kyoto, Japan)

・Gemma Rius, M. Sansa, X. Borrise, F. PerezMurano, M. Yoshimura, O. Eryu and N. Mestres,
(Nagoya Inst. Tech.,Inst. Microelectronica de Barcelona,Inst. Catala de Nanotecnologia,Toyota Tech. Inst. and Inst. Ciencia Materials de Barcelona)
「Correlation Between Electronic Properties and Structural Characteristics of Patterned Nanographene」

◆学術論文


1. Yayoi Tanaka, Takao Kanda, Kazuyuki Nagatoshi, Masamiichi Yoshimura and Osamu Eryu
The atomic step induced by off angle CMP influences the electrical properties of the SiC surface,
Silicon Carbide and Related Materials 2011, Part 1, pp.569-572 (2012)

     

◆招待講演

・江龍修
第29回N-cube -半導体のゆくえ-
パワー半導体加工技術
(2013.3.18 名古屋工業大学2号館1階0211教室)


・江龍修
名工大MOTシンポジウム

<技術開発> システム全体を見通した技術要件設定
(2012.12.14 名古屋工業大学)


・江龍修
第21回 SiC及び関連ワイドギャップ半導体研究会
SiCの加工技術
(2012.11.19-20 大阪市中央公会堂)